4階HDI&ATE板技術案例
發布時間(jiān):2026-04-21 15:12:38
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產品介紹 Ø 應用領域:服務器(qì)/工控 Ø 大(dà)尺寸:495mm*396mm Ø 層數(shù):20層 Ø 板厚4.0mm Ø 厚徑比:15:1 Ø HDI:4階 |
技術難點:
1、POFV疊激光盲(máng)孔(kǒng)工藝難度極高:采用樹脂塞孔後進行(háng)POFV(盤中通孔)加工,在此基礎上再疊加(jiā)激光(guāng)盲孔,工序複雜且(qiě)對孔壁質量、樹脂填充(chōng)平(píng)整度要求極高,極(jí)易(yì)出現孔內氣泡、鍍層斷裂、導通不良等問題(tí),工藝控製(zhì)窗口(kǒu)極(jí)窄。
2、多階激光疊孔對位精度控製困難:4階HDI結構需逐層進(jìn)行激光盲孔加(jiā)工(gōng)與疊加,層間對位偏差直接影響孔環連接可靠性與(yǔ)層間絕緣性能(néng)。隨著疊孔階數提(tí)升,對位(wèi)累積誤差風險顯著增大,高精(jīng)度對位控製難度大幅上升。
3、電鍍硬金懸金過大易引發短(duǎn)路:產品表麵采用電鍍硬金工藝(yì),後續蝕刻工(gōng)序中,因硬(yìng)金厚度與圖形分(fèn)布(bù)特點,易出現懸金、殘金問題,輕則影響外觀,重則造成線(xiàn)路短路,嚴重威脅產品電氣安全與使用穩定(dìng)性。
我(wǒ)司對策:
一、POFV疊激光盲孔工藝控製方案
1、樹脂塞孔(kǒng)過程精細化管控
選用高填充性、低收縮率專用孔(kǒng)樹脂,采(cǎi)用分段式抽真空塞孔工藝,避免孔內出(chū)現(xiàn)氣泡、空(kōng)洞;通過分段固化+高(gāo)溫後烘工藝,保證樹脂與孔壁充分結合,表麵平整度控製在(zài)≤5μm,為後(hòu)續POFV加工奠定基礎。
2、POFV加工精度控製
優化激光參數與鑽孔路徑,采用小光斑、高能量密度激光成型,嚴格控製POFV孔徑公差±10μm;電(diàn)鍍環節采用脈(mò)衝電(diàn)鍍工藝,保證孔內銅層(céng)均勻致密,無漏鍍、缺口,提升(shēng)層(céng)間連接可靠性。
3、疊層(céng)激光盲孔專項管控
在POFV完(wán)成麵進行微蝕(shí)粗(cū)化處(chù)理,增強樹脂與銅層(céng)結合力;采用逐階對位補償模式,每一層盲孔加工(gōng)前進行CCD自動對位校準,補償前序工序(xù)偏差;優化激光能量梯度,避免孔(kǒng)壁粗糙、鍍(dù)層撕裂,實現POFV上疊盲孔穩(wěn)定成型。
二、4階HDI多階激光疊孔(kǒng)對位控製(zhì)方案
1、層間對位基準統一
采用全域通用定位靶標+內層輔助對位標相結合的(de)方式,全流程使用同一基準係統,從內層圖形轉移到激(jī)光鑽孔、電鍍蝕刻全程基準(zhǔn)一致,消除基(jī)準轉換誤差。
2、高(gāo)精度設備與自動(dòng)補償
使(shǐ)用高精度激光鑽孔機,對(duì)位精度(dù)≤15μm;開啟自動對位校正功能,實時采集靶標位置並自動修正偏移量,減少人為幹預誤(wù)差。

疊孔對位剖麵(miàn)圖
三、電(diàn)鍍硬(yìng)金懸金控製方(fāng)案
1、電鍍參數精準匹配
嚴格控(kòng)製硬金電鍍(dù)電流密度、電鍍時間與金層厚度,匹(pǐ)配圖形密度與電(diàn)流分布,避(bì)免局部過厚電鍍;采用(yòng)攪拌+脈衝電鍍方式,提升鍍層均勻性,減少邊緣堆積。
2、蝕刻工藝優化
采用堿性蝕刻液,優化噴淋壓力、蝕刻速度與溫度參數,實現側蝕與垂直蝕刻平衡;增加二次補償蝕刻工序,針對線路邊緣、拐角等懸金易產生區域(yù)進行精(jīng)細化處理。
3、後段檢(jiǎn)測與驗證
通過AOI全自動光學檢測,對線路表麵懸金、短路隱患進行全檢;配合電性能測試,確保無(wú)短路、斷路問題,實現硬金製程零缺陷(xiàn)。

電鍍切片圖

